지티비아이앤씨(대표 허승주)가 잔류 오존을 실시간으로 제거하는 초소형 모듈형 오존제거기 ‘VORTEXX(보텍스)’를 개발하고 국내 특허 등록을 완료했다.
반도체와 디스플레이 등의 분야에서 제품 표면의 미세 오염물을 제거하고 접착력과 코팅 성능을 향상시키기 위해 대기압 플라즈마를 이용한 건식 표면처리 공정을 사용한다. 대기압 플라즈마 방전 과정에서 부산물로 오존이 발생해, 안전과 설비 보호를 위해 오존 저감용 배기 설비를 갖추고 관리하는 것이 중요하다.
현재 현장에서는 대기압 플라즈마 헤드 자체 배기장치와 대형 스크러버 등 다양한 오존 저감 설비를 적용하고 있다. 하지만 공정 조건과 설비 구조에 따라 장비 내부 또는 작업 공간에 오존이 잔류할 수 있으며, 기존 배기가스 처리 방식만으로 오존 발생원 인근의 잔류 오존까지 실시간으로 관리하는 데 한계가 있다.
국내 실내공기질 유지 권고기준은 오존 농도를 8시간 평균 0.06ppm 이하로 관리하도록 권고한다. 오존 농도가 높아지면 눈과 호흡기 자극, 폐 기능 저하 등 작업자의 건강에 영향을 줄 수 있으며, 장기간 노출 시 생산 환경과 설비의 안정성에도 영향을 미칠 수 있다.
지티비아이앤씨가 개발한 보텍스는 이런 문제를 해결하기 위해 개발됐다.
양산 설비의 커버 도어나 기류 배출부에 직접 설치할 수 있도록 설계돼, 오존이 외부로 확산되기 전에 발생원 근처에서 즉시 흡입·분해하는 방식으로 작동한다. 이를 통해 오존의 잔류와 외부 유출을 효과적으로 줄일 수 있다. 또한 별도의 대형 설비를 추가로 설치할 필요 없이 기존 생산라인에도 바로 적용이 가능하도록 공간 효율성과 설치 편의성을 높였다.
지티비아아앤씨는 플라즈마 양산 공정을 가정해 실시한 자체 성능시험에서 모든 조건에서 평균 약 95%의 오존 제거율을 확인했다고 밝혔다. 플라즈마 장비의 배기 방식과 관계없이 잔류 오존을 안정적으로 추가 제거할 수 있음을 검증했다고 설명했다.
허승주 대표는 “대기압 플라즈마 공정의 활용이 확대될수록 작업자의 안전 확보와 친환경 생산환경 구축은 제조 기업의 중요한 경쟁력이 되고 있다”며 “보텍스는 잔류 오존을 발생원에서 실시간으로 제거해 작업자 안전은 물론 설비의 오존 노출을 줄여 장비 수명 연장과 오존으로 인한 파티클 발생 저감에도 기여할 수 있는 솔루션”이라고 말했다.
지티비아이앤씨는 반도체·디스플레이를 비롯한 첨단 제조산업을 대상으로 플라즈마 장비, USC(Ultrasonic Cleaner), 검사 자동화 시스템, 협동로봇 및 물류 자동화 설비 등을 공급하는 제조공정 솔루션 전문기업으로 지속적인 연구개발을 통해 생산성 향상과 작업 환경 안전, 친환경 제조환경 구축을 위한 다양한 기술과 솔루션을 선보이고 있다.
[컨슈머치 = 이용석 기자]